碳化硅抛光液

产品描述

圣戈班碳化硅抛光液旨在帮助客户优化晶片的质量及成本。圣戈班全新碳化硅 抛光液ClasSiC 707结合了高硬度但具有化学活性的纳米磨料,同时结合特制 的配方,用于材料去除及前道工序的损伤层的去除和工艺控制。配合精抛光液 ClasSiC 102V, 可以进一步改善晶片的表面质量。

特点及优势

- 新化学活性纳米磨料

- 快速去除材料并且不影响面型、表面质量可控

- 去除前道工序的损伤层

- 专业的技术支持和服务

产品性能及使用方法

产品包装

1加仑,5加仑

推荐应用

- 单晶碳化硅晶片的硅面(所有掺杂剂)

- 单晶碳化硅晶片的碳面(所有掺杂剂)

- 多晶及陶瓷碳化硅,密封件和零件