迷你阀门减轻晶圆加工关键设备的污染风险

2019年08月08日

挑战

考虑到每种类型的阀门都有自己的应用领域,选择一款流体处理阀门在过去是很容易的。隔膜阀主要用于处理研磨液和腐蚀性流体。由于隔膜阀的表面接触最小且被认为是最洁净的阀门,因此在半导体工业中得到广泛应用。然而,在评估隔膜阀洁净度性能时,最大限度地减少被截留流体的死体积是一个重要的考虑因素。这种死体积截留可能非常严重,并会影响工艺效率。此外,截留和流体混合可能导致分配时出现流体失效和污染问题,因此往往需要额外的液体冲洗阀门,把失效或污染的液体冲走,从而浪费非常昂贵的化学品。

日前,半导体和生命科学市场的两家代表性企业的工程师与我们联系,探讨一种阀门解决方案,期待通过共同开发,达到圣戈班现有阀门(3/16”)所无法达到的、使化学品截留量最低的要求。

圣戈班设计服务解决方案

圣戈班的高纯度系统团队在其产品组合中推出了一款全新的Furon® HPV迷你阀门(1/8”)。这款全新阀门尺寸的出现以一种差异化的解决方案对圣
戈班现有的阀门体系进行了补充。它将帮助客户满足不断增长的工艺洁净度和制造成品率的要求。这款全新的阀门设计旨在优化流体流通路径,以避
免可能出现的截留区域。

下表对比了Furon® HPV迷你阀门(1/8”)与竞争对手的一个1/8”阀门,性能优势将缓解工艺挑战。经确认,我们的设计在不牺牲Cv 的情况下,将流道
总体积从 0.50CC 减少到 0.30CC,我们认为这是一项重要的设计成就。
流道体积得到优化,这就意味着为了使系统稳定下来所需冲洗或吹扫时间更短,从而减少设备停机时间。

客户体验

圣戈班的全新Furon® HPV迷你阀门(1/8”)解决方案将使客户能够进一步减少因污染问题导致的任何设备停机或不必要的冲洗时间。
 

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